专注高纯光电子材料 持续为客户创造价值

主营产品光纤级四氯化硅,目前已发展成为国内产销量前列的光纤级四氯化硅供应商

连续化生产工艺技术

高级别产品(11N级)+四氯化硅3万吨年产量+专利

建设市级电子半导体材料分析检测中心

GC色谱仪 / FT-IR分析仪 / ICP-MS分析仪

UL3000 Fab (ULTRA) 可移动式氦气检漏仪

INFICON泄漏检测在设定性能和易用性市场标准方面有着悠久的历史。UL3000 Fab在当今的泄漏测试中提供尽可能高的速度和最佳的用户友好性。UL3000 Fab专为满足半导体制造的特殊需求而开发,例如半导体和显示工具 (包括子组件) 的 泄漏检查。

优势一览

■ 通过I·CAL软件算法节省时间,实现快速测量,测量范围为10-9 – 10-12毫巴升/秒

■ 使用具有改进型智能功能的I·ZERO 2.0进行最有效的泄漏检查,可实现快速背景抑制,同时保持高测量灵敏度

■ 适用于真空和吸枪泄漏检测

■ 抽真空和响应速度快,将泄漏检测工作量降至最低

■ 超薄设计,易于操作,节省时间

■ 配备经久耐用的离子源 (保修期3年) 和逆流式真空系统,可降低总拥有成本 (TCO)

■ 配备全彩高清可旋转显示屏的HMI界面,使用简便,提供直观操作指导

为UL3000 FAB ULTRA带来附加优势

■ HYDRO·S软件消除了水蒸汽背景,因此可以尽早开始泄漏检查,从而可以快速达到灵敏的测量范围

■ 抽速更高,能够更快完成抽空(抽真空)

■ 免维护罗茨低真空泵降低了TCO

测量结果操作、分析和存储过程简便

■ 带触摸屏,直观指导用户操作

■ 现代菜单结构

■ 可旋转全彩高清显示屏

■ 使用移动设备通过Wi-Fi进行远程控制

■ 数据存储能力

■ 使用U盘导出数据 (控制访问)

低运行和维护成本

尽管使用寿命长,但维护成本低,这归功于:

■ 强大的真空系统

■ 经久耐用的离子源,保修期3年

仪器可更方便地进入检漏区域

■ 小而坚固的设计,确保稳定性和最佳移动性

■ 重心低,易于搬运

■ 大滚轮轻松通过障碍

上一页: